غرفة نظيفة
غرفة التنظيف cleanroom، هي بيئة، تستخدم عادة في التصنيع أو البحث العلمي، ذات مستوى منخفض من الملوثات البيئية مثل التراب، الميكروبات المنقولة جواً، جزئيات الهباء الجوي، والأبخرة الكيميائية. بشكل أكثر دقة، لغرفة النظيمة مستوى مراقب من التلوث يحدد عن طريق عدد الجزيئات لكل متر مكعب عند حجم جزيئي.[1]
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
التاريخ
نظرة عامة
مبادئ تدفق الهواء
 Air flow pattern for "Laminar Flow Cleanroom" |
التلوث الشخصي في الغرفة النظيفة
تصنيف الغرف النظيفة
معايير US FED STD 209E للغرف النظيفة
| التصنيف | الحد الأقصى للجزئيات/قدم3 | الأيزو المكافئ | ||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| ≥0.1 µm | ≥0.2 µm | ≥0.3 µm | ≥0.5 µm | ≥5 µm | ||
| 1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | 0.007 | ISO 3 |
| 10 | 350 | 75 | 30 | 10 | 0.07 | ISO 4 |
| 100 | 3,500 | 750 | 300 | 100 | 0.7 | ISO 5 |
| 1,000 | 35,000 | 7,500 | 3000 | 1,000 | 7 | ISO 6 |
| 10,000 | 350,000 | 75,000 | 30,000 | 10,000 | 70 | ISO 7 |
| 100,000 | 3.5×106 | 750,000 | 300,000 | 100,000 | 700 | ISO 8 |
معايير أيزو 14644-1 للعرف النظيفة
| التصنيف | الحد الأقصى للجزيئات/م3 | FED STD 209E المكافئ | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ≥0.1 µm | ≥0.2 µm | ≥0.3 µm | ≥0.5 µm | ≥1 µm | ≥5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2.37 | 1.02 | 0.35 | 0.083 | 0.0029 | |
| ISO 2 | 100 | 23.7 | 10.2 | 3.5 | 0.83 | 0.029 | |
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8.3 | 0.29 | Class 1 |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | 2.9 | Class 10 |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
| ISO 6 | 1.0×106 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
| ISO 7 | 1.0×107 | 2.37×106 | 1,020,000 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 |
| ISO 8 | 1.0×108 | 2.37×107 | 1.02×107 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 |
| ISO 9 | 1.0×109 | 2.37×108 | 1.02×108 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | Room air |
معايير BS 5295 للغرف النظيفة
| الحد الأقصى للجزيئات/م3 | ||||||
| التصنيف | ≥0.5 µm | ≥1 µm | ≥5 µm | ≥10 µm | ≥25 µm | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| تصنيف 1 | 3,000 | 0 | 0 | 0 | ||
| تصنيف 2 | 300,000 | 2,000 | 30 | |||
| تصنيف 3 | 1,000,000 | 20,000 | 4,000 | 300 | ||
| تصنيف 4 | 200,000 | 40,000 | 4,000 | |||
تصنيف GMP EU
| التصنيف | الحد الأقصى للجزيئات/م3[2] | |||
|---|---|---|---|---|
| وقت الراحة | وقت الراحة | وقت التشغيل | وقت التشغيل | |
| 0.5 µm | 5 µm | 0.5 µm | 5 µm | |
| التدريج A | 3,520 | 20 | 3,520 | 20 |
| التدريج B | 3,520 | 29 | 352,000 | 2,900 |
| التدريج C | 352,000 | 2,900 | 3,520,000 | 29,000 |
| التدريج D | 3,520,000 | 29,000 | n/a | n/a |
انظر أيضاً
- مؤشر جودة الهواء
- معمل استعادة البيانات
- بيئة آمنة
- أيزو 14644
- أيزو 14698
- Contamination control
- Pneumatic filter
- مؤين الهواء
- تصنيع أجهزة أشباه الموصلات
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .