قالب:تقانة مايكروية

البنى الأساسية

تطبيقات

مجسات	Microbolometer
Actuators	Comb drive Scratch drive actuator Thermal actuator
مبدلات	Digital micromirror device مبدل بصري
أخرى	IBM Millipede RF-MEMS MOEMS Microphotonics Bio-MEMS Microfluidics Micropower

العمليات

عامة	Surface micromachining Bulk micromachining HAR micromachining Deposition Lithography Etching Wire bonding
محددة	LOCOS STI LIGA Lift-off Photolithography SOI Smart Cut