ترسيب فيزيائي للبخار
(تم التحويل من Physical vapor deposition)
Inside the Plasma Spray-Physical Vapor Deposition, or PS-PVD, ceramic powder is introduced into the plasma flame, which vaporizes it and then condenses it on the (cooler) workpiece to form the ceramic coating.
التريب الفيزيائي للبخار Physical vapor deposition (PVD)، هو وصف عام لعدد من طرق ترسيب البخار تحت التفريغ من أجل القيام بعملية تكوين طبقة سطحية رقيقة على سطح الركازات، وذلك بواسطة طرق فيزيائية مثل إجراء عملية تبخر عند درجات حرارة مرتفعة وتحت الفراغ مع إجراء عمليات تكثيف متتالية، أو القذف بالرش المهبطي للبلازما.
تجري عمليات الترسيب الفيزيائي للبخار دون حدوث تفاعل كيميائي على سطح الركازة. في حال حدوث هذا الأمر يصنف الترسيب على أنه ترسيب كيميائي للبخار.
يستخدم الترسيب الفيزيائي للبخار في مجال تصنيع نبائط أشباه الموصلات ومجال إضافة الأغشية الرقيقة المعدنية على أسطح المواد البلاستيكية.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
أنواع الترسيب الفيزيائي للبخار
يشمل الترسيب الفيزيائي للبخار كل من:
- ترسيب القوس المهبطي، حيث تحدث عملية تفريغ قوس كهربائي عالي الشدة على المادة الهدف الموجودة على المهبط، مما يؤدي إلى تشكل أيونات في الحالة الغازية (بخار)، والذي يتم ترسيبه وتكثيفه على المادة الهدف.
- ترسيب فيزيائي للبخار بالحزمة الإلكترونية، حيث تسخن المادة المراد ترسيبها إلى درجات حرارة عالية لتصبح بالحالة الغازية وذلك بواسطة تسليط حزمة إلكترونية تحت التفريغ العالي، ومن ثم القيام بعملية انتشار للبخار بيترسب بالتكثيف على السطح الهدف.
- ترسيب بالتبخير، حيث تسخن المادة المراد ترسيبها إلى درجات حرارة عالية لتصبح بالحالة الغازية وذلك بواسطة وشيعة كهربائية تحت التفريغ المنخفض.[1][2]
- ترسيب الليزر النبضي، حيث يستخدم ليزر نبضي عالي الشدة من أجل تذرية المواد إلى بخار.
- ترسيب بالرش المهبطي، حيث تلفظ الذرات من مادة صلبة لدى تعريضها إلى قذف من جسيمات عالية الطاقة.
المزايا
العيوب
التطبيقات
- الفضاء الجوي
- صناعة السيارات
- الجراحة/الطب[3]
- الصبغات والقوالب لجميع أنواع معالجة الخامات
- أدوات القطع
- الأسلحة النارية
- البصريات
- الساعات
- الأغشية الرقيقة (دهانات النوافذ، تغليف الأغذية، الخ)
- أنابيب السهام المريشة
- المعادن (الألومنيوم، النحاس، البروز، الخ)
انظر أيضاً
الهوامش
- ^ He, Zhenping; Kretzschmar, Ilona (6 December 2013). "Template-Assisted GLAD: Approach to Single and Multipatch Patchy Particles with Controlled Patch Shape". Langmuir. 29 (51): 15755–15761. doi:10.1021/la404592z.
- ^ He, Zhenping; Kretzschmar, Ilona (18 June 2012). "Template-Assisted Fabrication of Patchy Particles with Uniform Patches". Langmuir. 28 (26): 9915–9919. doi:10.1021/la3017563.
- ^ http://www.ionfusion.com/technology
المصادر
- Anders, Andre (editor). Handbook of Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition. New York: Wiley-Interscience, 2000. ISBN 0-471-24698-0.
- Bach, Hans, and Dieter Krause (editors). Thin Films on Glass. Schott series on glass and glass ceramics. London: Springer-Verlag, 2003. ISBN 3-540-58597-4.
- Bunshah, Roitan F. (editor). Handbook of Deposition Technologies for Films and Coatings: Science, Technology and Applications, second edition. Materials science and process technology series. Park Ridge, N.J.: Noyes Publications, 1994. ISBN 0-8155-1337-2.
- Gläser, Hans Joachim. Large Area Glass Coating. Dresden: Von Ardenne Anlagentechnik, 2000. ISBN 3-00-004953-3.
- Glocker, David A., and S. Ismat Shah (editors). Handbook of Thin Film Process Technology (2 vol. set). Bristol, U.K.: Institute of Physics Pub, 2002. ISBN 0-7503-0833-8.
- Mahan, John E. Physical Vapor Deposition of Thin Films. New York: John Wiley & Sons, 2000. ISBN 0-471-33001-9.
- Mattox, Donald M. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control.. Westwood, N.J.: Noyes Publications, 1998. ISBN 0-8155-1422-0.
- Mattox, Donald M. The Foundations of Vacuum Coating Technology. Norwich, N.Y.: Noyes Publications/William Andrew Pub., 2003. ISBN 0-8155-1495-6.
- Mattox, Donald M. and Vivivenne Harwood Mattox (editors). 50 Years of Vacuum Coating Technology and the Growth of the Society of Vacuum Coaters. Albuquerque, N.M.: Society of Vacuum Coaters, 2007. ISBN 978-1-878068-27-9.
- Powell, Carroll F., Joseph H. Oxley, and John Milton Blocher (editors). Vapor Deposition. The Electrochemical Society series. New York: Wiley, 1966.
- Westwood, William D. Sputter Deposition. AVS Education Committee book series, v. 2. New York: Education Committee, AVS, 2003. ISBN 0-7354-0105-5.
- Willey, Ronald R. Practical Monitoring and Control of Optical Thin Films. Charlevoix, MI: Willey Optical, Consultants, 2007. ISBN 978-0-615-13760-5.
- Willey, Ronald R. Practical Equipment, Materials, and Processes for Optical Thin Films. Charlevoix, MI: Willey Optical, Consultants, 2007. ISBN 978-0-615-14397-2.
- Snyder, Tim. "NASA’s PVD Chrome Coating Can Enhance Your Driving Experience." 4wheelonline.com. 4wheelonline, 6 May 2013. Web. <http://4wheelonline.com/nasa-pvd-chrome-coating.226590.0>.
وصلات خارجية
- Society of Vacuum Coaters
- PVD Animation—an animation of a generic PVD sputter tool
- Physical vapor deposition